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新野・吉岡研究室の研究成果が『日刊工業新聞』に掲載されました。(2014年10月28日)
掲載新聞: 日刊工業新聞
掲載日: 2014年10月28日 火曜日
【説明文】
工具刃先から工作物までの距離をナノメートルオーダで検出可能な測定技術を
新たに開発し,写真付きで掲載されました.
開発したシステムはダイヤモンド工具内でレーザを全反射させた時に生じる
エバネッセント光を利用することにより,工具刃先が工作物に接触する前に
その距離を10nmの分解能で測定することを可能にしています.