トップ > 最新情報 > 新野・吉岡研究室の研究成果が，日刊工業新聞朝刊の「科学技術・大学」欄に掲載されました。(平成20年11月24日）

新野・吉岡研究室の研究成果が，日刊工業新聞朝刊の「科学技術・大学」欄に掲載されました。(平成20年11月24日）

【説明文】
科学技術研究費補助金により新たに開発された超精密切削加工機「広域ナノパターンジェネレータ（ＡＮＧＥＬ）」が写真と共に紹介されました。このＡＮＧＥＬは，（１）空気軸受，リニアモータ，エアータービン駆動などによる完全非接触構造，（２）主要構造へのセラミックス材料の適用，（３）アクティブ制振システムによる構造体の支持，などを特徴としています。これらの可能な限りの熱的，力学的誤差発生要因の排除により，広い運動範囲にわたって１ｎｍの分解能によるナノ加工を実現可能としています。