トップ > 最新情報 > 下河邊 明研究室:秦 誠一助手が日経産業新聞「21世紀の気鋭」に記載されました.(7月7日)
内容
【金属ガラスで微小機械:複雑な立体構造可能に】
東京工業大学精密工学研究所助手の秦誠一は,加熱するとアメ状になる「金属ガラス」という材料を使い,複雑で立体的な構造を持つMEMS(微小電子機械システム)の開発に挑む. 蚊取り線香のような渦巻き,空洞のドーム――.MEMSに主に使われている材料は,半導体の微細加工技術を利用できるシリコンだが,立体構造を作ることは難しい.金属ガラスは,シリコンでは難しいユニークな形を作れることから,MEMSの可能性を広げると期待されている.