トップ > 最新情報 > 徳光永輔 助教授らの研究が日刊工業新聞に記載されました.(2005年3月29日)
題目「不揮発性メモリ機能を持つ透明薄膜トランジスタ」 【内容】
極微デバイス部門の徳光永輔助教授の研究グループでは、不揮発性メモリ機能をもつ透明薄膜トランジスタを実現した。ゲート絶縁膜に強誘電体 (Bi,La)4 Ti 3 O12 (BLT) 、チャネルにインジウム・スズ酸化物(ITO)を用いたのが特徴で、少なくとも1日以上の記憶保持と可視光領域で60%以上の透過率を確認した。さらに低電圧で動作し、かつ大きなドレイン電流が得られた。この成果は埼玉大学で開かれた「2005年春季 第52回応用物理学関係連合講演会」で発表した。