トップ > 最新情報 > 下河辺明教授,秦誠一助手の研究が日経産業新聞に掲載されました。(2003年8月20日)
題目:「半導体の品質確認効率化」 【内容】 下河辺明教授,秦誠一助手らの研究グループは,半導体検査装置に用いるマイクロプローブを,薄膜金属ガラスの微細加工方法により製作した.従来の手法では製作困難な微細で立体的プローブを,多数個集積することが可能となり,半導体の検査工程の効率化に貢献できる.
題目:「半導体の品質確認効率化」
【内容】 下河辺明教授,秦誠一助手らの研究グループは,半導体検査装置に用いるマイクロプローブを,薄膜金属ガラスの微細加工方法により製作した.従来の手法では製作困難な微細で立体的プローブを,多数個集積することが可能となり,半導体の検査工程の効率化に貢献できる.
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