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新野・吉岡研究室の研究成果が日刊工業新聞に掲載されました。（2010年8月24日）

【説明文】
10mmスケールの計測範囲を1nmの計測分解能で計測可能な三次元広域ナノ形状計測システムを新たに開発し，写真付きで掲載されました。
開発した形状計測システムはSTMの計測原理を超精密三次元位置決めシステムに搭載することにより，従来の計測システムでは困難だった10mmスケールの計測範囲と1nmの計測分解能を同時に実現しています。