トップ > 最新情報 > 第60回精研シンポジウムを開催しました。（3月19日）

第60回精研シンポジウムを開催しました。（3月19日）

第60回精密工学研究所シンポジウム開催
　「The 3^rd International Workshop on Materials Issues for MEMS/MST Devices」

　日時：２０１０年３月１９日（金）10:00～15:30
　場所：東京工業大学すずかけ台キャンパス　多目的ホール（すずかけホール）
　主催：東京工業大学精密工学研究所
　協賛：日本材料学会マイクロマテリアル部門、応用物理学会集積化MEMS研究会

　プログラム
　10:00 “Opening Address”　Yakichi Higo (P&I Lab. Tokyo Institute of Technology, Japan)
　10:10 “Investigation of PDMS as MEMS material and microfluidics”Sekwang Park, (Kyunpook National University, Koria)
　10:50 “Towards the Standardization of Mechanical Characterization Techniques for MEMS”Joa~o Gaspar(University of Freiburg,　Germany)
　11:30 “Mechanical Properties in Nanoimprint Lithography Process”Hak Joo Lee (Korea Institute of Machinery & Materials,　Korea)
　13:30 “Deformation and Fracture Modes of Metallic Multilayered Films” Guang-Ping Zhang (Chinese Academy　of Sciences)
　14:10 “Investigation of Deformation and Fracture at Small Scales” Oliver Kraft, (Karlsruhe Institute of Technology,　Germany)
　14:50 “Study on Fatigue Damage of Micro/Nano Scale Silicon” Yoshitada Isono (Kobe University, Japan)
　15:30 “Closing remark”Kazuki Takashima(Kumamoto University，Japan)

第６０回精研シンポジウムが去る３月１９日（金）「すずかけ台キャンパス」すずかけホールにおいて開催されました。このシンポジウムは、精密工学研究所先端材料部門が主催し、応用物理学会MEMS研究会と、日本材料学会マイクロマテリアル部門の協賛の下で企画されたものです。“The 3rd International Workshop on Materials Issues for MEMS/MST Devices”と題し「マイクロ材料の機械的性質からMEMS/MSTデバイスまでの評価」に関して、世界の第一線で活躍されている研究者をお招きして、下記のプログラムでワークショップを開催いたしました。学内外７０名の参加者の下、活発な議論が行なわれました。
文責　曽根正人

Park教授　                                            Gaspar博士


Kraft教授                                             Lee教授