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第57回精研シンポジウムを開催致しました。（7月14日）

第57回東京工業大学精密工学研究所シンポジウムを下記の通り開催致しました。

開催日：７月１４日（火）10：00～19：00

場　所：すずかけホール

　 2009年7月14日　本学すずかけ台キャンパス　すずかけホールにて，第57回精研シンポジウム「第１回集積化MEMS技術研究ワークショップ」が開催されました。本シンポジウムは，応用物理学会　集積化ＭＥＭS技術研究会との共催により，精密工学研究所でのMEMS関連技術への取り組みをご紹介すると共に、今後の集積化MEMS技術について広く議論することを目的に開催しました。集積化MEMSは，次世代のデバイス・システム研究開発を担うMore than Moore（LSI集積度で有名なMooreの法則の限界を打ち破る方策）の一つの解として，近年,特に脚光を浴びています。本シンポジウムは，このような背景のもと，MEMSとLSIの両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて，幅広い技術分野に渡り，学問的見地から実用化に至るまでの活発な議論の場となりました。
　今回，基調講演として応用物理学会会長，東京工業大学　石原　宏教授の「集積強誘電体技術の現状　－強誘電体膜の不揮発メモリ、センサ、アクチュエータ応用ー」をはじめ，招待・特別講演として富士通研究所　上田知史氏「最近のRF MEMSデバイスの開発動向」，精密工学研究所　小山二三夫教授「MEMS共振器を用いた面発光レーザの波長制御」，東京大学　大場隆之教授「薄化ウエハ基板を用いた三次元積層技術」など講演９件と，ポスターセッション２５件，実験室の見学などを行いました。ポスターセッションでは，精密工学研究所の全研究室のパネル展示も行い，懇親会とともに活発な産学の交流がなされました。参加者も学内外より１２６名の参加があり，大変盛況のうちに終了しました。