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精研Ｐ＆Ｉフォーラムが開催されました．（2004年12月8日）

下記の内容で平成16年度１２月８日（水）１５時より精密工学研究所６階会議室にて「Ｐ＆Ｉフォーラム」を開催致しました．

【話題提供】１）先端材料部門助手　神谷大揮氏「電圧印加によるシリコン表面のぬれ変化」
　電圧印加により液体―固体間の表面張力を変える事ができる。
この作用を新原理のマイクロアクチュエーションに用いるのが、本講演のアイデアである。実験としてはシリコン表面に液滴を付着させ電圧を印加した時に発生する現象を計測し、極めて興味深い事実を発見した。
新時代のアクチュエータに応用される可能性を述べている。

２）高機能化システム部門助手　早瀬仁則氏「シリコン電極による薄型燃料電池」
　モバイル機器の普及に伴い，モバイル用の高性能電源が要望されている．こうした要求に答えるため，様々な企業が小型の燃料電池開発を進め，市場投入寸前といった状況にあるが，コスト，さらなる小型化といった解決すべき問題は山積している．そこで，ＭＥＭＳ技術を用いて，小型燃料電池を目指す研究がいくつかのグループにより始められている．我々は，燃料流路，燃料拡散層そして触媒担持層をシリコンウエハ上に一体成形する構造を提案し，実際に厚さ２５０μｍの燃料電池セルを試作し発電を実証した．しかしながら，発電性能は通常の燃料電池と比べ著しく劣っている．現在，シリコン上に形成する多孔質の形状を制御することにより性能向上を目指している．