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新野・吉岡研究室の研究成果が日刊工業新聞に掲載されました。（2011年6月24日）

【説明文】

150ミリメートルの駆動距離において0.1ナノメートルオーダの位置決め分解能を有する超精密位置決めシステムを新たに開発し，写真付きで掲載されました。
開発した位置決めシステムは，（１）空気軸受，リニアモータ駆動による完全非接触構造，（２）光路および信号処理の工夫により9.7ピコメートルの計測分解能を達成したレーザー干渉計による変位計測，（３）重心駆動，（４）アッベの原理を満たす変位計測，などを特徴としています。これらの可能な限りの誤差発生要因の排除により，広い運動範囲にわたって0.1ナノメートルオーダの高い位置決め分解能を実現可能としています。