トップ > 最新情報 > 新野・吉岡研究室の研究成果が日刊工業新聞に掲載されました。(2012年1月10日)
【説明文】
工作物の加工寸法を加工機から取り外すことなく加工機上で計測可能なオンマシン形状計測システムを新たに開発し,写真付きで掲載されました。
開発システムは「非点収差法」を応用した光プローブによって工作物の形状を非接触で計測することが可能です。
さらに,独自に開発した傾斜補正機能を付加しており,従来の計測システムでは困難だった100mmスケールの計測範囲と10nmの計測分解能を同時に実現しています。