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精機デバイス部門
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超微細加工
- 研究分野 超微細加工
- 研究目的・意義
・革新的マザーマシンの実現
・超精密加工学の確立
- 最近の研究課題
・革新的ナノ加工マザーマシンの研究開発
・硬ぜい性材料のナノ加工技術
・誤差要因最小化構造に関する研究
・工作機械の設計方法論
・製品開発方法論
*最近の主な研究(PDF)
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加工環境制御超精密加工機(CAPSULE) |
広域ナノパターンジェネレータ(ANGEL) |
- 研究分野 超微細加工
- 研究目的・意義 超精密加工を目的としたナノ計測・ナノ運動制御技術の確立
- 最近の研究課題
・高速高剛性スピンドルシステム
・多自由度超精密位置決めシステム
・超精密加工のインプロセスモニタリング
・ナノ加工の適応制
・精密機械用アクティブ制振システム
*最近の主な研究(PDF)
三次元ナノ形状計測システム サブナノメートル位置決めテーブルシステム
精密機素
- 研究分野 精密機素
- 研究目的・意義 機械装置のダイナミックスや発生音の把握法と解析技術
- 最近の研究課題
・無響室を用いない実用的音源探査法
・二次元音場の計測による3次元音場推定
・機械システムの音づくり
・歯車駆動システムの振動計測と診断
・歯車の周辺の流れの可視化
*最近の主な研究(PDF)
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アレーを構成するマイクロホン配置 |
歯車かみあい部の流れを可視化するための水槽とアクリル製はすば歯車 |
- 研究分野 精密機素
- 研究目的・意義 静粛化・低振動化のための機械装置の振動・騒音の解析と計測
- 最近の研究課題
・歯車系の振動挙動の詳細な把握と低振動設計
・動力伝達系用 遠心振子式動吸振器の開発
・アクティブ制振歯車装置の開発
・機械装置の振動計測による多自由度振動モデルの把握法
・振動計測による歯車加工精度の診断
*最近の主な研究(PDF)
歯車装置用遠心振子式動吸振器 アクティブ制振歯車装置 |
集積マシン
- 研究分野 集積マシン
- 研究目的・意義 複合・集積化機械要素の実現と応用
- 最近の研究課題
・磁気浮上技術を用いた人工心臓の研究開発
・産業用磁気浮上遠心ポンプの開発
・レーザ加工や放電加工用高速・多自由度アクチュエータの研究開発
・薄膜永久磁石を用いたMEMSデバイスの研究
・薄膜永久磁石の微細加工・微細着磁法の研究
*最近の主な研究(PDF)
使い捨て磁気浮上遠心血液ポンプ
レーザ加工機用6自由度磁気浮上アクチュエータ
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