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研究活動と設備

創造研究棟と共同テーマ

すずかけ台地区３研究所（資源化学研究所、精密工学研究所、応用セラミックス研究所）は、平成7年度、文部省のCOE形成支援プログラムの一つである研究環境高度化支援プログラムにより、1,500平米の建物新営と大型設備の導入を認められた。本研究所は、創造研究棟と呼ばれることになったこの建屋の3階に、メカノマイクロプロセス室（クリーンルーム、クラス1,000）、材料評価室（クリーンルーム、クラス10,000）、バーチャルメディア実験室の３実験室を整備し、また主としてナノ・マイクロメカニズム研究のために真空加工システム一式を購入した。現在、以下のような共同研究を実施している。

１）　三次元高集積ナノ・マイクロメカニズムの研究
２）　強誘電体薄膜の形成と物性制御、マイクロ材料評価に関する研究
３）　仮想メディア環境に関する研究

メカノマイクロプロセス室

材料評価室

バーチャルメディア実験室

J２棟クリーンルーム

メカノマイクロプロセス室の発展版として生物系にも対応可能なメカノバイオティッククリーンルームをJ2棟１階に設置している。

MEMS/NEMSとバイオテクノロジーを融合した新しい研究分野の展開を図っている。

メカノバイオテッククリーンルーム

ナノ・マイクロシステムクリーンルームはJ2棟１Fに設置され、光デバイスおよび電子デバイスの製作とその融合に必要な、薄膜形成、リソグラフィー、ナノレベル機械加工、電子顕微鏡などを導入し、超並列光システムやナノ電子デバイスの研究について進化・深化を図っている。

ナノ・マイクロシステムクリーンルーム

微細加工装置や電子顕微鏡によるデバイス製作が可能。

精密工学研究所とは